自由讨论环节一直持续到了晚上。
大家提出了很多想法，拿出了很多建议，但同时，也暴露了很多问题。
尤其是连接性和完整性的问题。
大家发现何成说的是对的，华夏想搞先进光刻机自研自产，最大的困境就是必须得全面自研，任何一个关键技术，关键设备或者关键零部件的缺失，都会导致华夏搞不出自己的光刻机。
所以连接性和完整性极其重要，华夏现在搞光刻机自研自产，绝对不能再单纯的使用模块化认领的老套路了。
毕竟以前没有瓦森纳协定，但现在有了。
时代完全不一样了。
所以各机构之间的协调合作，信息的及时互通，针对空白区域的及时填补等等，都变得极为重要。
好在大家现在已经有了这个意识，有了意识就会重视，有了重视，接下去就是解决问题。
虽然这个问题解决起来不容易。
何成用笔把一些重要的信息都认真的记录在了笔记本上，虽然会后微电子研究所这边就会给每个人发一份会议记录，但这是何成的习惯，能更好的帮自己标注重点。
临近午夜，只吃了一顿午饭的众人依旧精神饱满的继续着讨论。
而话题再一次回到了光源方案上。
大家现在主要倾向的依旧是尼康方案，从时代背景来说，这确实是很难改变的事情。
不过对于何成提出的浸入式光刻机方案，大家都表示会积极参与，这对何成来说这就够了。
反正从长远发展来说，尼康方案所涉及的技术以后都是用得上的。
只要后续华夏光刻机能起来，这就不是无用功。
无非现阶段的投入会更大，但何成有钱。
而在光源方案讨论的差不多快结束时，长光机所的代表汤建华突然走到何成身边问道，“何总怎么看EUV这个方向，怎么看EUV LLC联盟这个组织？”
何成发现一件事情，自从大家从内心接受了何成入局这件事情后，大家对于何成的态度就变得积极了起来。
很愿意跟何成交流，也很愿意倾听何成的意见。
而何成看着汤建华，眼神中不自觉的流露出了一些敬意。
是对汤建华的敬意，更是对长光机所的敬意。
在光学技术领域，华夏有很长一段空窗期，是王大恒创办的长光机所改变了这一情况。
1958年，长光机所自主研发了1秒精度大地测量经纬仪、1微米精度万能工具显微镜、大型石英摄谱仪、中型电子显微镜、中子晶体谱仪、地形测量用多倍航摄投影仪、光电测距仪、高温金相显微镜以及融化态光学玻璃。
可谓一举成名。
1961年，长光机所又研发生产了华夏第一台激光器。
华夏未来在激光领域的种种成就，从此生根发芽。
80年代，长光机所更是在军事领域解决了多项关键的光学技术瓶颈。
所以针对光刻机的自研，大家都默认长光机所将会担任极其重要的角色。
“我还是从未来倒退的逻辑，DUV的理论极限有人说是10nm，也有人说是7nm，但不管是10nm还是7nm，20年后基本上就到极限了。”
“所以光刻机的基础设计逻辑没有巨大变化的话，EUV确实大概率会成为未来的光源方案。”
汤建华微微皱眉，“如果要考虑EUV的未来发展需求，我们现在需要做的准备可能还得再全面一些。”
“弗劳恩霍夫光机所去年就开始搭建EUV镀膜机了，就在最近，弗劳恩霍夫光机所的EUV反射膜完成了反射率测试，获得56%的反射率。”
“等于我们现在的竞争对象，可能就已经不是1999年的尼康，而是尼康＋整个EUV LLC联盟了。”
感受到汤建华的担忧，何成故意展现出了淡定的状态，“凡事都有利弊，EUV LLC联盟确实整合了各个领域的顶尖水平，但联盟这种东西往往最容易出岔子。”
“纵观历史，那些以少胜多，以弱胜强的经典战役中，强者一方往往都是联盟。”
“更何况，汤院士别忽略了一点，尼康可没加入EUV LLC联盟。”
“说起来，尼康为什么没有加入EUV LLC联盟？”汤建华好奇的问道，虽然他并不确定何成是否知道答案。
何成一声呵呵，“因为加入EUV LCC联盟的门槛很高啊。”
“门槛？尼康作为行业龙头，门槛还不够？”
何成摇了摇头，“EUV LLC联盟的门槛并不是技术门槛，而是诚意门槛，EUV LLC联盟那边对于想要加入的光刻机企业提出了多个要求，其中最重要的一个要求就是技术成果需要分享给米国。”
“这个条件摆在那里，尼康怎么可能加入？”
“别看霓虹国半导体产业这些年被米国搞得一片狼藉，但越是这样，他们内心越是不甘心。”
“霓虹人从来都不是什么善茬，我很认可一句话，霓虹人的礼貌，是他们给隐忍穿上的外衣。”
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