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第797章 纳米SW2002

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之前的光刻机是用的光源是深紫外光,现在申城微电实现量产的130纳米光刻机依旧使用的深紫外光。

可EUV光刻机得要用极紫外光。

而极紫外光刻机早在八十年底的时候就被提出,1999年的时候ASML公司开始进行研发,计划在2004年的时候推出产品。

只不过到2010年的时候才做出原型机,到了2016年的时候才实现向下游客户供货,比预期之中整整的晚了十二年时间。

韩松林对光刻机了解不多,可也是知道EUV光刻机的,能够将芯片制程给做到7纳米,甚至5纳米,3纳米,就只有EUV光刻机能够做到。

而Asml公司能够在未来独霸全球,占据全球光刻机市场百分之八十的市场,就因为人家在技术路线的选择上面走对了。

韩松林知道,光刻机有两样东西很重要:光源和光学透镜。

为此在星辰院专门的成立了光源研究所和光学研究所。

光学镜片这块,华国的确要差了些。

全球在光学透镜技术这块,最好的要数汉斯国和岛国。

汉斯国的蔡司和莱卡,岛国的尼康和奥林巴斯。

这四家公司是最顶级的光学企业。

“老板,这就是我们实现量产的SW2002光刻机!”

这光刻机在2002年的时候就造出了原型机,经过一年多时间的研发之后,才是实现量产。

速度上面来说,已经算不错了。

对于研发人员的努力,韩松林从来都不会怀疑,华国的研发人员在全球范围内,都属于最苦逼的。

工资低,工作时间长!

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