1981年，Cobilt被应用材料公司收购，一年后解散了Cobilt部门。
90年代，GCA、Ultratech和SVG等美国光刻机公司只剩下10%的市场份额，其中GCA和Ultratech占4-5%，SVG占1%。
GCA在1985、1986期间损失1亿美元，被迫裁员70%，只有1000人；1988年，General Signal以7600万美元收购了陷入财务困境的GCA。随后，Sematech资助GCA开发KrF步进器。1993年1月，General Signal宣布其打算剥离其半导体设备公司。1993年5月，因为没有找到合适的买家，General Signal打算关闭GCA，余建国代表ATIC找上门……
GCA浴火重生。
1988年，硅谷集团(Silicon Valley Group，简称SVG)在新任命的首席执行官 Papken Der Torossian的领导下，将公司业务扩展到光刻领域，SVG曾试图从General Signal的手里收购GCA，但SVG因为拿不出6800万美元现金，愿意以股票代替，交易失败，然而，SVG却成功地获得了P&E与IBM联合开发的下一代步进扫描系统 Micrascan，1989年4月，P&E宣布退出半导体设备业务;SVG于1990年还以2000万美元收购了P&E的光刻业务。
1998年，Ultratech最终被管理层杠杠收购，退出了光刻机制造市场，成为一家专注于先进微电子工艺开发和制造解决方案提供商，其产品包括激光均匀化系统、氧化物化学气相沉积系统等先进工艺设备，广泛应用于集成电路、存储器件制造等领域。
全球光刻机市场，一年只有500台左右，市场竞争激烈，优胜劣汰，如今全球只剩下5家，美国有GCA和SVG，日本有Nikon和Canon，荷兰有ASML，中国有BSEC。
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